تارگت تیتانیوم یکی از انواع تارگتهای مورد استفاده در فرآیندهای رشد و رسوب دهی فیلمهای نازک است. این تارگت به صورت یک قرص که از فلز تیتانیوم تشکیل شده است، ساخته میشود و در فرآیندهای پوشش دهی فیزیکی بخار (PVD) به عنوان منبع بخار استفاده میشود.
تارگت تیتانیوم به دلیل خصوصیات فیزیکی و شیمیایی خود، از جمله مقاومت بالا در برابر حرارت، پایداری شیمیایی، و خواص مکانیکی بالا، در فرآیندهای پوشش دهی فیزیکی بخار مورد استفاده قرار میگیرد. این تارگت به طور معمول در فرآیندهای رسوب دهی فیلمهای نازک به کار میرود، مانند روشهای PVD مانند مگنترون اسپوتر (Magnetron Sputtering) و تبخیر با دمای پایین (Low-temperature evaporation).
تارگتهای تیتانیوم همچنین در صنعت هوافضا، صنعت خودرو، صنعت الکترونیک و صنایع پزشکی برای ساخت ابزارهای پزشکی و دستگاههای پزشکی نیز مورد استفاده میشوند.